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नैनो सीएमएम के ज्यामितीय प्रेसिजन समायोजन

Aug 14, 2017

1. मेडिकल शोषक कपास या लिंट मुक्त कपास 120 # उड्डयन पेट्रोल में डुबकी और कपास को ऊपर उठाना, फिर गाइड और कार्यबल साफ करें

2. हवा स्रोत स्विच, नियंत्रण कैबिनेट की शक्ति, कंप्यूटर और मापने सॉफ्टवेयर रैशनियल डीएमआई चालू करें;

3. कैलिब्रेशन से पहले तैयार निरीक्षण उपकरण और माप उपकरण प्राप्त करें।

6.5.2 भौगोलिक सटीकता अंशांकन (नैनो से सेवा अभियंता यह करेंगे)

1. कार्यबल की सतह के स्तर को समायोजित करें <20um>

2. कार्यक्षेत्र की सतह और एक्स या वाई अक्ष के बीच समानांतरता को देखें और समायोजित करें।

3. सभी कुल्हाड़ियों की ऊर्ध्वाधरता को देखें और समायोजित करें।

4. उपकरण एकीकृत सटीकता अनुक्रमित समायोजन

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